分析测试中心引进的德国ZEISS Crossbeam550电子显微镜系统，是集热场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、聚焦离子束系统（FIB）、气体注入系统（GIS）等多种功能于一体的全方位高端工作平台。之前已开放了微纳米加工与透射电镜（TEM）样品制备功能，获得的良好的效果和积极的反馈，极大的支持了本校科研工作的开展。由于广大师生测试需求的不断扩展，为了提供更好、更全面的服务，经研究决定，本平台自2021年3月15日起开放以下功能：

1.      能谱扫描功能

仪器配备EDAX能谱（型号：Octane Elect Super，70 mm²），可实现样品经FIB加工后截面微区的成分分析，具有精确定位、截面质量好、分析更准确等特点。

收费标准为：点分析50元，线扫/面扫100元/个；

截面加工依照FIB标准。

图1 FIB 加工Fe-Ti-Zn镀锌钢板样品截面能谱

2. 三维重构功能

FIB平台配备了ATLAS软件，可以对样品进行三维断层成像，并通过Dragonfly软件将一套2D图像处理成3D数据，从而实现对样品三维高级数据处理与分析。最小分辩率可达20纳米，实现内部结构如孔隙、孔喉、裂纹、掺杂物等的三维空间分布实景分析，并可以计算出内部结构的尺寸、体积、表面积及曲率等多种数据。结合能谱分析，可构筑样品内部化学组成、物理结构的三维实景图(如图2)。

收费标准为：1500元每小时（目标尺寸10*10*10um）。

图2锂电池正极材料FIB分析三维重构效果图

锂电池正极材料，通过FIB断层成像并三维重构后不仅可以实现三维空间结构的可视化分析，而且能够进行如颗粒度统计、粘结剂或孔隙百分比计算等深层次数据挖掘。

3.管理员操作SEM测试

仪器本身具备高端SEM功能，配置有SE探测器、Inlens探测器、BSD探测器、STEM探测器等多种探测器，还配置有GATAN C1002型冷台，适合电子束敏感材料，例如聚合物和地质样品，在高束流下分析也能保持稳定。建议在普通SEM下观测遇到变形问题的样品，使用该仪器利用冷台辅助测试。

每周一开放管理员操作SEM测试服务，有需求的同学请于前一周的周一~周三在大仪平台预约。

收费标准为：1000元/小时（以实际使用时间计算）。

仪器地点：分析测试中心B109

管理员：王志芳（15522087483，wangzhifang@tiangong.edu.cn）

仪器链接：http://atc.tjpu.edu.cn/equipment/66

分析测试中心

                                       2021年3月12日